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2017年9月6日星期三

MEMS材料誰為王? 獨立合金薄膜將取代矽

據外媒報道,約翰·霍普金斯大學(Johns Hopkins University)帶隊研發了新款金屬薄膜,未來該材料或將被用於製造傳感器等微機電係統(MEMS)設備,其抗拉強度、耐熱、耐高溫性能比矽強。

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矽的耐熱、抗壓性能不足

當今科技日新月異,無論是汽車、物聯網、發動機還是公用設施都離不開微型傳感器的支持與推動。然而,問題在於這類傳感器通常由矽製成,但矽物理特性上的不足使其未來應用受限。

約翰·霍普金斯大學材料科學家兼機械工程師Kevin J. Hemker攜團隊已在新材料研發方麵取得成功,該材料有助於確保這類傳感器(即人們熟知的"微機電係統"MEMS)能繼續滿足未來技術前沿的要求。

該校威汀工程學院(Whiting School of Engineering)機械工程學(Mechanical Engineering)的Hemker表示:"多年前,我們就開始嚐試采用更為複雜的複合材料製造MEMS設備。"

大多數微機電設備(MEMS)內部結構複雜,其尺寸比人類發絲的寬度還要小,主要成分為矽。在常溫下,該類設備運作良好,但在適度受熱(加熱幾百攝氏度)後,該材料將導致其喪失強度及電子訊號的傳導能力。此外,矽較脆,易破碎。

盡管如此,矽一度是微機電係統技術的核心材料,其產品曆經數代而不衰。然而,如今該材料卻並未製造商們的理想選擇,未來這類MEMS設備將被用於物聯網技術的相關設備中,該類設備對材質的耐高溫、耐高壓的要求很高。顯而易見,矽無法勝任該要求。

研發新款合金薄膜

Hemker表示:"這就要求科研人員研發強度與密度更大,導電、導熱能力更強的先進材料。此外,對形狀維持的要求也較高,其製作及塑形務必要符合微觀標準。據稱,目前尚無符合上述特性的MEMS材料。"

為研發這類新材料,研究人員考慮結合使用含鎳金屬,這是一款常用的先進結構材料(advanced structural materials)。例如,鎳基超合金(Nickel-base superalloys)就被用於製造噴氣式發動機。鑒於外形穩定性的需求,研究人員做了大量實驗,他們將金屬鉬(molybdenum)、鎢(tungsten),力圖提升純鎳受熱膨脹對應的溫度界限值。

約翰·霍普金斯大學的研究團隊采用的試驗設備尺寸較大,與冰箱相近,該團隊采用離子去擊中目標物,將合金氣化並保持原子狀態,使其積聚在表麵或基材上,進而產生了一款可剝離的薄膜,最終生成了一款獨立合金薄膜(freestanding films),其平均厚度在29微米,比人類發絲還小。

這類獨立薄膜擁有超強的特性。該薄膜在進行拉伸試驗時展現了極強的抗拉強度,這意味著形狀保持能力極強,不會變形或破碎,其抗拉強度是高強度鋼的三倍。盡管極少數其他材料也有類似的抗拉強度,但那些材料既不耐高溫,也無法輕易加工成形並製造MEMS部件。

Hemker表示:"我們認為合金將有助於提升其強度及耐熱性(thermal stability),但我們不知道對性能提升的作用會有這麼大。"

由於該合金內部晶體結構的原子排列方式,該材料的強度特別高。該結構強化了材料的強度,且不會對該材料的導電性能產生影響。

Hemker表示:"該結構使合金薄膜的綜合性能極強,平衡了各項了材料特性。該薄膜耐高溫,熱穩定性及機械穩定性極強。該研發團隊正忙於下一階段的研發,涉及薄膜的塑形與MEMS部件製造。研究團體正在為該項獨立合金薄膜申請專利。"

文/李文龍

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